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碳化硅單晶拋光片表面質(zhì)量的測試方法

標 準 號： SJ/T 11504-2015
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國工業(yè)和信息化部
起草單位： 工業(yè)和信息化部電子工業(yè)標準化研究院
發(fā)布日期： 2015-04-30
實施日期： 2015-10-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2021年04月09日
內(nèi)容摘要

本標準規(guī)定了碳化硅單晶拋光片表面質(zhì)量的目視檢驗方法，觀察樣品表面的六方孔洞、劃痕、凹坑、顆粒、沾污、亮點缺陷、裂紋、崩邊的數(shù)量并用鋼板尺測量劃痕的總長度等。

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