本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了無(wú)水氟化氫(簡(jiǎn)稱為AHF)生產(chǎn)企業(yè)的平面布置、工藝設(shè)計(jì)要求、基本生產(chǎn)技術(shù)要求、生產(chǎn)原理、生產(chǎn)過(guò)程控制、生產(chǎn)設(shè)備維護(hù)和保養(yǎng)、產(chǎn)品質(zhì)量要求、安全生產(chǎn)、保護(hù)環(huán)境、污染物控制。本規(guī)范適用于現(xiàn)有、新建(含改、擴(kuò)建)的無(wú)水氟化氫生產(chǎn)企業(yè)。