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本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了X射線光電子能譜儀的檢定方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于使用非單色化Al或MgX射線或單色化AlX射線,且?guī)в袨R射清潔用離子槍的X射線光電子能譜儀的檢定。