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電子工業(yè)用氣體 氮

標(biāo) 準(zhǔn) 號: GB/T 16944-2009
替代情況: 替代 GB/T 16944-1997
發(fā)布單位: 國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局、國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位: 中國計量科學(xué)研究院、西南化工研究設(shè)計院
發(fā)布日期: 2009-10-30
實(shí)施日期: 2010-05-01
點(diǎn) 擊 數(shù):
更新日期: 2010年11月09日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)用氣體氮的技術(shù)要求,試驗方法以及包裝、標(biāo)志、貯運(yùn)及安全。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于以深冷法從空氣中提取的氣態(tài)和液態(tài)氮,以及經(jīng)電化學(xué)方法得到的氮。它們在超大規(guī)模集成電路制造中用作保護(hù)、吹掃、覆蓋、加壓,化學(xué)氣相淀積等。

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