本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了氦的技術(shù)要求,試驗方法以及包裝、標(biāo)志、貯運(yùn)及安全。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于以深冷法從天然氣、空氣和工廠弛放氣中提取的氣態(tài)和液態(tài)氦,以及經(jīng)純化方法得到的氦。它們在半導(dǎo)體制造中用作清洗氣、加壓氣,也用作載氣和保護(hù)氣等。