本標準規(guī)定了電子工業(yè)用氧的技術要求,試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。
本標準適用于以深冷法、電解法提取的氣態(tài)或液態(tài)氧,以及經(jīng)純化方法得到的氧。它們主要用于二氧化硅化學氣相淀積,用作氧化源和生產(chǎn)高純水的反應劑,用于等離子體蝕刻和剝離、光導纖維。