本標準規(guī)定了電子工業(yè)用磷化氫的技術(shù)要求,試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。
本標準適用于亞磷酸熱分解、磷化物水解、單質(zhì)磷與水或堿反應等方法獲得并經(jīng)精制得到的磷化氫產(chǎn)品。它主要用于半導體器件和集成電路生產(chǎn)的外延、離子注入和摻雜。