1、查看電源:保持開關(guān)完整無損。拋光機安全開機流程:連接外電源→打開設(shè)備電源總開關(guān)→設(shè)備電源起動開關(guān)。拋光機安全關(guān)機流程:關(guān)閉拋光盤轉(zhuǎn)動→關(guān)閉設(shè)備電源開關(guān)→斷開外電源連接。
2、禁止隨意亂接亂拉電線,開關(guān)插座必須上墻。在進行設(shè)備清潔或打掃衛(wèi)生時,防止水濺到電源上。
3、禁止非工作人員擅自進入工作區(qū)。
4、拋光機工作時,如遇到緊急情況應(yīng)立即關(guān)閉總電源開關(guān)。
5、取下拋光砣觀察晶片時,必須先停止拋光盤轉(zhuǎn)動,抬起壓力控制臂,待壓力控制臂完全抬起時,方能取出拋光砣,以免發(fā)生事故。
6、禁止在拋光機自動工作時將身體任何部位伸入拋光區(qū),以免打傷。
7、更換拋光液時,必須先關(guān)閉自動攪拌機,避免傷人。
8、現(xiàn)場地面干凈整齊,不得亂放物品,下班前,切記關(guān)閉“水、電、氣”總開關(guān)。
9、消防器材擺放位置合理,工作人員必須掌握其操作方法,并定期檢查其是否完好、是否過期。