本文件規(guī)定了真空室整體及其組件的放氣率測(cè)試程序。本文件適用的放氣率由應(yīng)用于高真空或超高真空的設(shè)備產(chǎn)生，在23℃時(shí)小于1×10-5Pa·m3·s-1（1×10-2Pa·L·s-1），放氣產(chǎn)生的各種氣體或蒸氣的分子量均小于300u。
總放氣率的上限1×10-5Pa·m3·s-1與放氣材料的尺寸、總表面積、材質(zhì)或者狀態(tài)無(wú)關(guān)。如果標(biāo)稱放氣率（單位面積放氣率）已測(cè)定，則該面積采用名義幾何表面積，而非包括表面粗糙度的比表面積。當(dāng)難以測(cè)定樣品（如粉末、多孔材料、非常粗糙的表面或者復(fù)雜的設(shè)備等）的名義幾何表面積時(shí)，采用單位質(zhì)量放氣率（如每克放氣率）。
在許多實(shí)際應(yīng)用中，只需確定總放氣率。如果使用了靈敏度與氣體種類(lèi)有關(guān)的測(cè)試儀器，則總放氣率以等效氮?dú)夥艢饴实男问浇o出。如果總放氣率很高，為了改進(jìn)樣品材料，存在需要辨別干擾氣體的種類(lèi)和測(cè)定其放氣率的情況。本文件涵蓋上述兩種情況。
放氣產(chǎn)生的一些分子能夠被表面吸附且滯留時(shí)間遠(yuǎn)長(zhǎng)于總測(cè)試時(shí)間。這些分子不在直接路徑上時(shí)，也不能被測(cè)試儀器檢測(cè)到。這可認(rèn)為是一種表面效應(yīng)，采用表面分析研究遠(yuǎn)比這里考慮的常規(guī)放氣率測(cè)量更加行之有效。同時(shí)，受紫外光或X射線照射從表面釋放的分子，也不適用于本文件。
制定本文件是為了使放氣率的測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)化，使得在不同實(shí)驗(yàn)室和采用不同方法獲得的測(cè)試值具有可比性。為此，對(duì)于本文件中規(guī)定的任一種方法，每種方法中最重要的參數(shù)可依據(jù)計(jì)量水平溯源到國(guó)際基本單位（SI）。
質(zhì)量損失法是一種與氣體種類(lèi)無(wú)關(guān)的放氣率測(cè)試方法，主要用于航天器及衛(wèi)星材料的放氣率測(cè)試。在可接受的測(cè)試時(shí)長(zhǎng)范圍內(nèi)，質(zhì)量損失法可測(cè)試的放氣率（＞1×10-5Pa·m3·s-1）明顯高于常規(guī)高真空和超高真空組件的放氣率。而且，由于天平不適于在真空環(huán)境下應(yīng)用，考慮到真空室的重量，無(wú)法原位測(cè)試樣品。因