本文件規(guī)定了晶體硅光伏電池用低壓化學(xué)氣相淀積設(shè)備（以下簡(jiǎn)稱“LPCVD設(shè)備”）的術(shù)語(yǔ)和定義、工作環(huán)境、技術(shù)要求、基本性能、檢驗(yàn)方法、交付檢驗(yàn)以及標(biāo)志、包裝、搬運(yùn)和運(yùn)輸、貯存。
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