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半導體車間金屬粉塵智能檢測分析系統(tǒng) (T_QGCML 3970-2024)

標 準 號: T/QGCML 3970-2024
替代情況:
發(fā)布單位: 全國城市工業(yè)品貿(mào)易中心聯(lián)合會
起草單位: 凌凱電子科技(湖北)有限公司、武漢羚動設備有限公司、湖北鴻陽企業(yè)服務有 限公司
發(fā)布日期: 2024-03-28
實施日期: 2024-04-11
點 擊 數(shù):
更新日期: 2024年04月02日
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內(nèi)容摘要

本文件規(guī)定了半導體車間金屬粉塵智能檢測分析系統(tǒng)的術語和定義、基本要求、運行環(huán)境及功能、模塊功能、運行測試。


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