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導(dǎo)航：安全管理網(wǎng)>> 安全標(biāo)準(zhǔn)>> 地方標(biāo)準(zhǔn)>> 河北>>正文

關(guān)鍵尺寸掃描電子顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： JJF(冀) 213-2023

替代情況：

發(fā)布單位：河北省市場(chǎng)監(jiān)督管理局

起草單位：中電國(guó)基北方有限公司

發(fā)布日期： 2023-08-02

實(shí)施日期： 2023-11-01

點(diǎn) 擊數(shù)：

更新日期： 2023年08月19日

內(nèi)容摘要

本規(guī)范適用于放大倍數(shù)20k~200k 的關(guān)鍵尺寸掃描電子顯微鏡（CD-SEM）的校準(zhǔn)。

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