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熱解吸氣相色譜法測定硅片表面的有機污染物

標 準 號： GB/T 24577-2009
替代情況：
發(fā)布單位： 中華人民共和國國家質量監(jiān)督檢驗檢疫總局 中國國家標準化管理委員會
起草單位： 信息產業(yè)部專用材料質量監(jiān)督檢驗中心、中國電子科技集團公司第四十六研究所
發(fā)布日期： 2009-10-30
實施日期： 2010-06-01
點 擊 數：
更新日期： 2025年02月26日
內容摘要

本標準規(guī)定了硅片表面的有機污染物的定性和定量方法,采用氣質聯(lián)用儀或磷選擇檢測器或者兩者同時采用。?

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