本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了閉式單軸多點(diǎn)寬臺(tái)面高速超精密壓力機(jī)靜載變形測(cè)量方法的術(shù)語(yǔ)和定義、整機(jī)剛度測(cè)量方法、滑塊撓度測(cè)量方法和工作臺(tái)撓度測(cè)量方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于閉式單軸多點(diǎn)寬臺(tái)面高速超精密壓力機(jī)。