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平面相移干涉儀

標(biāo) 準(zhǔn) 號: JB/T 13872-2020
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國工業(yè)和信息化部
起草單位: 上海光學(xué)儀器研究所、蘇州慧利儀器有限責(zé)任公司
發(fā)布日期: 2020-04-16
實(shí)施日期: 2021-01-01
點(diǎn) 擊 數(shù):
更新日期: 2024年02月18日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了平面相移干涉儀的術(shù)語和定義、型式與基本參數(shù)、要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于利用微位移機(jī)構(gòu)檢驗(yàn)光學(xué)平面的面形偏差和平面平晶平面度的平面相移干涉儀。

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