本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了平面相移干涉儀的術(shù)語和定義、型式與基本參數(shù)、要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于利用微位移機(jī)構(gòu)檢驗(yàn)光學(xué)平面的面形偏差和平面平晶平面度的平面相移干涉儀。