本文件規(guī)定了碳基薄膜的分類、命名及簡稱。本文件所述的碳基薄膜是以碳為主要成分，并由物理氣相沉積（PVD）或化學氣相沉積（CVD）制備所得的薄膜。碳基薄膜包括非晶碳基薄膜[又稱為類金剛石薄膜(DLC)]，CVD金剛石薄膜、石墨薄膜和類聚合物碳基薄膜。
本文件適用于工業(yè)規(guī)模生產的碳基薄膜。本文件不適用于尚未實現工業(yè)規(guī)模生產的其余種類碳基薄膜。
本文件只涉及碳基薄膜材料，不涉及由主體功能層和上/下附加層組成的復合涂層。
薄膜中各層組分和/或性能隨厚度變化的薄膜稱為梯度薄膜。本文件涉及的碳基薄膜均指非梯度薄膜。
碳基薄膜可能包含如氫、金屬或其他元素。其中金屬成分還包含金屬碳化物。本文件涵蓋的摻雜碳基薄膜只包括以碳元素為主要成分的薄膜體系。對于碳以碳化物形式存在的含碳基薄膜，也不適用于本文件中的金屬摻雜非晶碳基薄膜（a-C:Me，a-C:H:Me）體系。
本文件不適用于富勒烯、碳納米管、石墨烯、石墨炔等碳材料。