本文件定義了與熱陰極電離真空計(jì)相關(guān)的術(shù)語，并規(guī)定熱陰極電離真空計(jì)制造商要給出的具體參數(shù)，以及在操作這些儀表時(shí)，需要考慮的測(cè)量不確定度分量。原因如下。
a）　本文件更新了ISO 3529-3:1981中給出的一些術(shù)語和定義。
b）　熱陰極電離真空計(jì)通常用作參考標(biāo)準(zhǔn)，本文件為適用的實(shí)驗(yàn)室明確規(guī)定了便于在高真空和超高真空下正確校準(zhǔn)真空計(jì)的相關(guān)信息。使用電離真空計(jì)開展高真空和超高真空的可溯源壓力測(cè)量時(shí)，適于在制造商說明書中引述含有真空計(jì)相關(guān)參數(shù)和特征的信息。
c）　本文件還列出了與電離真空計(jì)壓力測(cè)量相關(guān)的重要的不確定度分量，也給出了這些不確定度分量的評(píng)估指南。對(duì)于某些當(dāng)前或未來的真空計(jì)來說，不確定度分量的清單可能并不全面。
d）　將電離真空計(jì)用作參考標(biāo)準(zhǔn)時(shí)，本文件是對(duì)ISO/TS 3567和 ISO/TS 27893的補(bǔ)充。