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掃描探針顯微鏡校準規(guī)范

標 準 號: JJF 1351-2012
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局
起草單位: 中國航空工業(yè)集團公司北京長城計量測試技術研究所、上海計量測試技術研究院、貴州計量測試院等
發(fā)布日期: 2012-06-18
實施日期: 2012-09-18
點 擊 數(shù):
更新日期: 2023年05月15日
內(nèi)容摘要

本規(guī)范適用于以幾何表面形貌為測量對象的掃描探針顯微鏡的校準。
掃描探針顯微鏡根據(jù)其設計原理不同,校準時需要根據(jù)實際情況選擇相關的計量特性。對有特殊要求的測量任務,如對溯源要求較高的測量,不在本校準規(guī)范的適用范圍。

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