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光柵式測微儀校準(zhǔn)規(guī)范

標(biāo) 準(zhǔn) 號： JJF 1682-2017
替代情況： 替代 JJG 989-2004
發(fā)布單位： 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局
起草單位： 中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所、中國測試技術(shù)研究院
發(fā)布日期： 2017-11-20
實施日期： 2018-05-20
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2023年05月06日
內(nèi)容摘要

本規(guī)范適用于0.1 μm級行程為0～10 mm、0.2 μm級行程為0～25 mm、0.5 μm級行程為0～50 mm、1 μm級～10 μm級行程為0～100 mm的光柵式測微儀校準(zhǔn)。

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