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產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范（GPS） 表面結(jié)構(gòu) 區(qū)域法 第603部分：非接觸（相移干涉顯微）式儀器的標(biāo)稱特性

標(biāo) 準(zhǔn) 號： GB/T 33523.603-2022
替代情況：
發(fā)布單位： 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位： 清華大學(xué)、山東大學(xué)、深圳市中圖儀器股份有限公司 等
發(fā)布日期： 2022-12-30
實施日期： 2023-04-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2023年04月05日
內(nèi)容摘要

本文件規(guī)定了相移干涉法（PSI）輪廓和區(qū)域表面結(jié)構(gòu)測量顯微鏡的計量特性。

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