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光學(xué)元件表面疵病定量檢測方法 顯微散射暗場成像法

標(biāo) 準(zhǔn) 號: GB/T 41805-2022
替代情況:
發(fā)布單位: 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位: 江蘇皇冠新材料科技有限公司、福建福特科光電股份有限公司
發(fā)布日期: 2022-10-12
實施日期: 2023-05-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2023年01月25日
內(nèi)容摘要

本文件描述了采用顯微散射暗場成像法對光學(xué)元件表面疵病進(jìn)行定量檢測的檢測原理、試驗條件、
儀器設(shè)備、樣品、檢測步驟和試驗數(shù)據(jù)處理和檢測報告。
本文件適用于平板類雙面拋光光學(xué)元件表面疵病的長度、寬度、擋光面積以及疵病位置檢測。

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