本文件規(guī)定了刻蝕機(jī)用硅電極及硅環(huán)的技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存和隨行文件以及訂貨單內(nèi)容。