本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了普通型式的濺射離子泵的型式與基本參數(shù)、要求、測量方法、檢驗規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運輸、貯存及質(zhì)量保證要求。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于普通型式的濺射離子泵。