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離子束蝕刻機(jī)完好要求和檢查評(píng)定方法

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào)： SJ/T 31100-1994
替代情況：
發(fā)布單位： 電子工業(yè)部
起草單位： 電子工業(yè)部第48所
發(fā)布日期： 1994-04-15
實(shí)施日期： 1994-06-01
點(diǎn) 擊 數(shù)：
更新日期： 2021年09月13日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了半導(dǎo)體器件生產(chǎn)用離子束蝕刻機(jī)的完好要求和檢查、評(píng)定方法。

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