本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了電子工業(yè)元器件生產(chǎn)用電子級水制造設(shè)備反滲透裝置的完好要求和檢查、評定方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于電子工業(yè)企業(yè)電子元器件，集成電路制造以及清洗工序用電子級水制造的反滲透裝置。