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本部分規(guī)定了電解磨料線切割機床的機床主要零部件和坐標(biāo)軸的命名、使用說明、幾何精度檢驗、定位精度檢驗及加工檢驗。 本部分適用于(但不限于)加工硅、鍺等半導(dǎo)體材料的電解磨料線切割機床。