本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了復(fù)合分子泵的型式與基本參數(shù)、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存等。本標(biāo)準(zhǔn)適用于具有前級(jí)泵、變頻電源的復(fù)合分子泵。