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本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了使用適當(dāng)?shù)膮⒖嘉镔|(zhì)對(duì)掃描電鏡(SEM)圖像的放大倍率進(jìn)行校準(zhǔn)的方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于對(duì)由校準(zhǔn)參考物質(zhì)上間距大小的可用范圍決定的放大倍率進(jìn)行校準(zhǔn)。本標(biāo)準(zhǔn)不適用于專用測(cè)長(zhǎng)型掃描電鏡。