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本標準規(guī)定了輸出功率小于100W且焦點尺寸小于100微米的X射線源發(fā)出的X射線數(shù)字成像檢測方法。 本標準適用于檢測半導體、新能源、電子制造等領域的金屬和非金屬材料。