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產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS) 光學(xué)共焦顯微鏡計量特性及測量不確定度評定導(dǎo)則

標(biāo) 準(zhǔn) 號： GB/T 34879-2017
替代情況：
發(fā)布單位： 國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局
起草單位： 中國計量科學(xué)研究院
發(fā)布日期： 2017-11-01
實施日期： 2018-05-01
點(diǎn) 擊 數(shù)：
更新日期： 2018年01月17日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)描述了光學(xué)共焦顯微鏡在宏觀或微觀三維表面形狀測量中的計量特性，并規(guī)定了測量不確定度評定的橫向和軸向測量結(jié)果的示值讀取方法。

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