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掠入射X射線反射膜厚測量儀器校準規(guī)范

標 準 號： JJF 1613-2017
替代情況：
發(fā)布單位： 國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局
起草單位： 中國計量科學(xué)研究院
發(fā)布日期： 2017-02-28
實施日期： 2017-05-28
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2017年10月13日
內(nèi)容摘要

本規(guī)范適用于掠入射X射線反射膜厚測量儀器(以下簡稱儀器)的校準。

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