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真空技術(shù) 真空設(shè)備的檢漏方法選擇

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào): GB/T 32293-2015
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局 中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位: 北京衛(wèi)星環(huán)境工程研究所等
發(fā)布日期: 2015-12-10
實(shí)施日期: 2016-07-01
點(diǎn) 擊 數(shù):
更新日期: 2017年07月15日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了真空設(shè)備檢漏方法選擇的人員資格要求、通用要求、檢漏實(shí)施的安全要求、選擇程序及選擇原則、檢漏方法的特征參數(shù)。
  
  本標(biāo)準(zhǔn)適用于真空設(shè)備的檢漏方法選擇,適用的真空設(shè)備包括真空容器、真空管道、真空泵、真空閥門、真空鍍膜設(shè)備、真空干燥設(shè)備、真空冷凍干燥設(shè)備、表面分析設(shè)備、真空冶金設(shè)備、空間環(huán)境模擬設(shè)備、半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備等真空設(shè)備。工作時(shí)涉及真空狀態(tài)的其他設(shè)備的檢漏方法選擇也可參照本標(biāo)準(zhǔn)執(zhí)行。

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