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本部分規(guī)定了區(qū)域法表面結(jié)構(gòu)接觸(觸針)式儀器: ——用作測量標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)物量具的特性; ——殘余誤差的評定方法; ——校準(zhǔn)、驗(yàn)收和周期檢定的檢測方法。 本部分適用于用來校準(zhǔn)或檢定區(qū)域法表面結(jié)構(gòu)接觸(觸針)式儀器的實(shí)物測量標(biāo)準(zhǔn)。