本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了真空濺射鍍膜設(shè)備的基本參數(shù)、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸和貯存等。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于壓力在1×10-1Pa～1×10-3Pa范圍的真空濺射鍍膜設(shè)備。