本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的型號、形式和基本參數(shù)﹑技術(shù)要求﹑試驗(yàn)方法﹑檢驗(yàn)規(guī)則及標(biāo)志﹑包裝﹑運(yùn)輸﹑貯存等要求。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于極限壓力在5×10-4 Pa～5×10-3 Pa范圍內(nèi)的真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備。