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真空技術(shù) 濺射離子泵 性能參數(shù)的測(cè)量

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào): GB/T 25755-2010
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局、中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位: 北京中科科儀技術(shù)發(fā)展有限責(zé)任公司、沈陽真空技術(shù)研究所
發(fā)布日期: 2010-12-23
實(shí)施日期: 2011-10-01
點(diǎn) 擊 數(shù):
更新日期: 2014年05月20日
內(nèi)容摘要

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了濺射離子泵(以下簡稱離子泵)性能參數(shù)的測(cè)量方法。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于名義體積流率大于10L/s的離子泵。
本標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量體積流率的壓力范圍從1.5×10-3 Pa到1×10-7 Pa。

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