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潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境 第14部分:按粒子濃度評(píng)估設(shè)備適用性

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào): GB/T 25915.14-2022
替代情況:
發(fā)布單位: 國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位: 中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會(huì)、江蘇富泰凈化科技股份有限公司、天津大學(xué)、中國(guó)建筑科學(xué)研究院有限公司等
發(fā)布日期: 2022-12-30
實(shí)施日期: 2023-07-01
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更新日期: 2023年04月17日
內(nèi)容摘要

本文件適用于評(píng)估在潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中使用的機(jī)械、測(cè)試設(shè)備、工藝設(shè)備、部件及工具等設(shè)備的適用性。根據(jù)GB/T 25915.1,關(guān)注懸浮粒子粒徑范圍為0.1 μm至大于或等于5 μm。

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