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真空技術(shù) 真空計(jì) 用于分壓力測(cè)量的四極質(zhì)譜儀特性

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào): GB/Z 42625-2023
替代情況:
發(fā)布單位: 國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局 國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位: 北京衛(wèi)星環(huán)境工程研究所、中國(guó)航天科技集團(tuán)有限公司第五研究院第五一〇研究所
發(fā)布日期: 2023-05-23
實(shí)施日期: 2023-05-23
點(diǎn) 擊 數(shù):
更新日期: 2023年11月11日
內(nèi)容摘要

本文件規(guī)定了四極質(zhì)譜儀的特性,該質(zhì)譜儀的離子源為電子轟擊型,原子的質(zhì)荷比(m/z)小于300。 ?
本文件不適用于配有其他類型離子源的四極質(zhì)譜儀,比如化學(xué)電離型離子源、光電離型離子源或場(chǎng)電離型離子源,也不適用于分析測(cè)量較大質(zhì)荷比(m/z)的四極質(zhì)譜儀,它們主要用于檢測(cè)有機(jī)材料。 ?
根據(jù)已出版的文獻(xiàn)可知,四極質(zhì)譜儀的計(jì)量特性依賴于儀器的設(shè)置、總壓力和混合氣體成分,因此,對(duì)所有應(yīng)用狀況下的四極質(zhì)譜儀進(jìn)行校準(zhǔn)是不現(xiàn)實(shí)的。本文件中規(guī)定的特性方法包括真空系統(tǒng)的連續(xù)泄漏監(jiān)測(cè)、采用示蹤氣體的漏率測(cè)量、殘余氣體分析和材料放氣率測(cè)試。使用者能選擇適合自身需求的特性方法,其他應(yīng)用情況也能參照本文件的特性方法。 ?
已知四極質(zhì)譜儀部分參數(shù)的穩(wěn)定性較差,尤其是靈敏度。因此,已校準(zhǔn)參數(shù),當(dāng)需要精度更高時(shí),仍需反復(fù)再校準(zhǔn)。實(shí)際工況下,只能現(xiàn)場(chǎng)校準(zhǔn)。因此,本文件不僅描述了校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室或者國(guó)家計(jì)量機(jī)構(gòu)能如何校準(zhǔn)四極質(zhì)譜儀,并直接溯源到國(guó)際單位制(SI),而且描述了如何能在現(xiàn)場(chǎng)檢查和維護(hù)已校準(zhǔn)參數(shù)。 ?
根據(jù)其物理原理,四極質(zhì)譜儀需要高真空環(huán)境。通過(guò)減小進(jìn)氣尺寸或通過(guò)特殊離子源與分流泵相結(jié)合,四極質(zhì)譜儀的操作范圍能擴(kuò)大到更高的壓力,直至大氣壓力。但是,本文件不適用于采用分流抽氣技術(shù)的四極質(zhì)譜儀。因此,本文件中四極質(zhì)譜儀入口處的壓力范圍不超過(guò)1 Pa。 ?
本文件未規(guī)定制造商或者經(jīng)銷商宜如何調(diào)整四極質(zhì)譜儀的初始參數(shù),這些初始參數(shù)主要用來(lái)提供一個(gè)準(zhǔn)確的m/z、恒定的質(zhì)量分辨本領(lǐng)或恒定的傳輸概率,這是設(shè)備的基本參數(shù)。反之,本文件默認(rèn)有一個(gè)制造商提供的參數(shù)重調(diào)程序,使用者能在現(xiàn)場(chǎng)重新調(diào)整參數(shù)。該程序旨在確保四極質(zhì)譜儀的特性參數(shù)均處于最優(yōu)狀態(tài)。 ?
本文件旨在讓使用者通過(guò)其四極質(zhì)譜儀獲得最佳的計(jì)量效果。調(diào)查得知,多數(shù)情

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