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本文件規(guī)定了塑封電子元器件進(jìn)行聲學(xué)顯微鏡檢查的程序。本文件提供了一種使用聲學(xué)顯微鏡對塑料封裝進(jìn)行缺陷(分層、裂紋、模塑料空洞等)檢查的方法,本方法具有可重復(fù)性,是非破壞性試驗(yàn)。