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微束分析 透射電子顯微術(shù) 集成電路芯片中功能薄膜層厚度的測定方法

標 準 號： GB/T 43748-2024
替代情況：
發(fā)布單位： 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位：
發(fā)布日期： 2024-03-15
實施日期： 2024-10-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2024年04月29日
內(nèi)容摘要

本文件規(guī)定了用透射電子顯微鏡/掃描透射電子顯微鏡(TEM/STEM)測定集成電路芯片中功能薄膜層厚度的方法。本文件適用于測定幾個納米以上厚度的集成電路芯片中功能薄膜層。

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