客服微信 網(wǎng)站公眾號(hào)
本文件規(guī)定了用透射電子顯微鏡/掃描透射電子顯微鏡(TEM/STEM)測(cè)定集成電路芯片中功能薄膜層厚度的方法。本文件適用于測(cè)定幾個(gè)納米以上厚度的集成電路芯片中功能薄膜層。