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晶體硅光伏電池用等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積(PECVD)設(shè)備 第1部分:管式 PECVD 設(shè)備

標(biāo) 準(zhǔn) 號: SJ/T 11829.1-2022
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國工業(yè)和信息化部
起草單位: 中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院 等
發(fā)布日期: 2022-09-30
實施日期: 2023-01-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2023年12月08日
內(nèi)容摘要

本文件規(guī)定了晶體硅光伏電池用管式等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積(PECVD)設(shè)備的術(shù)語和定義、型號命名、工作環(huán)境、要求、檢驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標(biāo)志、搬運和運輸、貯存等。
本文件適用于晶體硅光伏電池用管式 PECVD 設(shè)備,產(chǎn)品主要用于在晶體硅光伏電池減反射膜、鈍化膜的淀積與氫鈍化。

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