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微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 術(shù)語

標 準 號： GB/T 26111-2023
替代情況： 替代 GB/T 26111-2010
發(fā)布單位： 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標準化管理委員會
起草單位： 上海交通大學、天津大學、北京航天控制儀器研究所、西安現(xiàn)代控制技術(shù)研究所等
發(fā)布日期： 2023-05-23
實施日期： 2023-09-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2023年12月03日
內(nèi)容摘要

本文件界定了微機電系統(tǒng)器件及其生產(chǎn)工藝相關(guān)的術(shù)語和定義。本文件適用于微機電系統(tǒng)領域的研究、開發(fā)、評測和應用。

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