本文件依據(jù)半導(dǎo)體器件對規(guī)定的機(jī)器模型(MM)靜電放電(ESD)所造成損傷或退化的敏感度，建立了半導(dǎo)體器件ESD測試和分級的標(biāo)準(zhǔn)程序。
本文件相對于人體模型ESD，用作一種可選的測試方法，目的是提供可靠、可重復(fù)的ESD測試結(jié)果，以此進(jìn)行準(zhǔn)確分級。
本文件適用于半導(dǎo)體器件，屬于破壞性試驗。半導(dǎo)體器件的ESD測試從本文件、人體模型(HBM見GB/T 4937.26)或GB/T 4937系列中的其他測試方法中選擇。MM與HBM測試的結(jié)果相似但不完全相同。除另有規(guī)定外，HBM測試方法為所選方法。
