国产精品麻豆久久99,韩日在线播放,午夜体验,鲁鲁狠色综合色综合网站,亚洲视频区,高清2019av手机版,精品中文字幕不卡在线视频

安全管理網(wǎng)

現(xiàn)行
導航:安全管理網(wǎng)>> 安全標準>> 行業(yè)標準>> 電力>>正文

晶體硅光伏電池用等離子體增強化學氣相淀積(PECVD)設備 第2部分:板式 PECVD 設備

標 準 號: SJ/T 11829.2-2022
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國工業(yè)和信息化部
起草單位: 中國電子技術標準化研究院 等
發(fā)布日期: 2022-09-30
實施日期: 2023-01-01
點 擊 數(shù):
更新日期: 2023年10月22日
內容摘要

本文件規(guī)定了晶體硅光伏電池用板式等離子體增強化學氣相淀積(PECVD)設備的術語和定義、型號命名、工作環(huán)境、要求、檢驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標志、搬運和運輸、貯存等。適用于晶體硅光伏電池用板式 PECVD 設備。
本文件適用于沉積多種薄膜材料,例如,非晶硅(a-Si:H)、微晶硅(μc-Si:H)、二氧化硅(SiO2)、氧化鋁(Al2O3)、氮化硅(SiNx)薄膜等本征薄膜以及各種摻雜薄膜材料等,薄膜光伏電池、柔性光伏電池用 PECVD 設備也可參照使用。

如需幫助,請聯(lián)系我們。聯(lián)系電話400-6018-655。
網(wǎng)友評論 more
創(chuàng)想安科網(wǎng)站簡介會員服務廣告服務業(yè)務合作提交需求會員中心在線投稿版權聲明友情鏈接聯(lián)系我們