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本文件規(guī)定了晶體硅光伏電池用板式等離子體增強化學氣相淀積(PECVD)設備的術語和定義、型號命名、工作環(huán)境、要求、檢驗方法、檢驗規(guī)則以及包裝、標志、搬運和運輸、貯存等。適用于晶體硅光伏電池用板式 PECVD 設備。 本文件適用于沉積多種薄膜材料,例如,非晶硅(a-Si:H)、微晶硅(μc-Si:H)、二氧化硅(SiO2)、氧化鋁(Al2O3)、氮化硅(SiNx)薄膜等本征薄膜以及各種摻雜薄膜材料等,薄膜光伏電池、柔性光伏電池用 PECVD 設備也可參照使用。