微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù) 硅基MEMS微結(jié)構(gòu)彎曲強度試驗方法
標(biāo) 準(zhǔn) 號: GB/T 42895-2023
發(fā)布單位: 國家市場監(jiān)督管理總局 國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位: 北京大學(xué)、中機生產(chǎn)力促進(jìn)中心有限公司、中國電子技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化研究院、北京燕東微電子科技有限公司 等
發(fā)布日期: 2023-08-06
實施日期: 2023-12-01