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本指導(dǎo)性技術(shù)文件規(guī)定了半導(dǎo)體分立器件工藝制造過(guò)程實(shí)施統(tǒng)計(jì)過(guò)程控制(SPC)技術(shù)的方法、主要步驟和相關(guān)技術(shù)的應(yīng)用。