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微波功率器件及集成電路用砷化鎵外延片規(guī)范

標 準 號： SJ 21536-2018
替代情況：
發(fā)布單位： 國家國防科技工業(yè)局
起草單位： 中國電子科技集團公司
發(fā)布日期： 2018-01-18
實施日期： 2018-05-01
點 擊 數(shù)：
更新日期： 2022年09月18日
內(nèi)容摘要

本規(guī)范規(guī)定了微波功率器件及集成電路用砷化鎵外延片（以下簡稱砷化鎵外延片）的技術(shù)要求、質(zhì)量保證規(guī)定、交貨準備等內(nèi)容。


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