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MEMS 加速度傳感器參數(shù)標定工藝技術要求
標 準 號：
SJ 21263-2018
替代情況：
發(fā)布單位：
國家國防科技工業(yè)局
起草單位：
中國電子科技集團公司第十三研究所
發(fā)布日期：
2018-01-18
實施日期：
2018-05-01
點 擊 數(shù)：
更新日期：
2022年09月17日
下載地址：
點擊這里
4.07MB
下載點數(shù)：
30點（VIP會員免費）
內(nèi)容摘要
本標準規(guī)定了MEM加速度傳感器制造過程中的人員、環(huán)境、安全、設備和儀器的一般要求，以及工藝流程、工藝準備和參數(shù)標定的詳細要求。
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MEMS 慣性器件芯片在片測試技術要求
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MEMS 加速度傳感器測試方法
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*本標準來自網(wǎng)友 lee1004 分享，只作為網(wǎng)友的交流學習之用。
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安全標準
.
傳感器
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