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本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了MEMS慣性器件制造過(guò)程中劃片的工藝流程、工藝要求和檢驗(yàn)要求。
本標(biāo)準(zhǔn)適用于圓片的砂輪劃片工藝。