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高純四氯化硅中痕量磷的分光光度比色測(cè)試方法

標(biāo) 準(zhǔn) 號(hào): SJ 2595-1985
替代情況:
發(fā)布單位: 中華人民共和國(guó)電子工業(yè)部
起草單位:
發(fā)布日期: 1985-07-31
實(shí)施日期: 1984-01-01
點(diǎn) 擊 數(shù):
更新日期: 2022年06月21日
內(nèi)容摘要

本方法適用于生長(zhǎng)半導(dǎo)體器件及電路用硅外延片、多晶硅和光通訊器件用光纖予制件的高純四氯化硅中磷含量的測(cè)試方法。


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